在半导体离子注入设备等超高真空（10−8Pa）工艺中，YS 轴承是如何利用无脂的 MoS2 隔垫技术来彻底杜绝“挥发释气（Outgassing）”污染的？
编码 | 属性 | 数据 | 内容 |
A | 联 | 133 | 许 |
B | 系 | 2798 | 经 |
C | 我 | 2959 | 理 |
在半导体离子注入等低至 10−8Pa 且温度高达 350∘C 的超高真空工艺中，传统液态润滑脂或矿物油的蒸气压远高于环境气压，会发生迅速蒸发（即释气现象）。这些挥发的油分子会在真空腔室中迁移，冷凝在敏感的硅晶圆或半导体掩模上，造成致命的分子级污染。YS 系列高温真空轴承通过以下特殊机制彻底杜绝了这一问题：
采用“全无脂（Grease-free）”的纯无机固体润滑 YS 系列轴承彻底摒弃了含有易挥发成分的传统液态油脂，实现了真正的**“无脂（Grease-free）”二硫化钼（MoS2）纯固态润滑**。核心技术：浸渍 MoS2 的烧结合金隔垫（Spacer Joints） 该轴承的核心设计是在马氏体不锈钢滚珠之间，放置了由烧结合金（Sintered alloy）制成的自润滑隔垫。这种特殊的烧结合金基体内部浸渍了 MoS2 固体润滑剂。在机械运转时，这种合金隔垫能在高达 350∘C 的极端环境中，持续不断地为滚珠接触面提供源源不断的 MoS2 固体润滑补充。彻底切断“大质量分子”的逃逸与冷凝污染 由于 MoS2 固体润滑剂和烧结合金本质上属于无机固态物质，它们在极高真空中极度稳定，绝不会像液态油脂那样发生向气态相变的物理沸腾与蒸发过程。质谱分析评估明确指出，YS 系列轴承几乎不释放任何大质量数的气体分子（Virtually no outgassing of high mass number species），其超低释气表现足以媲美传统的镀银轴承。这种从材料物理根源上消除挥发源的设计，完美保护了离子注入等设备所需的 10−8Pa 极高洁净度要求。--------------------------------------------------------------------------------
相关问答：
1、在半导体晶圆传送或离子注入机等高真空且要求极高洁净度（Class 100）的工艺中，继续使用传统的普通氟基润滑脂会引发哪些致命污染风险？
传统的普通氟基润滑脂会引发两种致命的污染风险：一是剧烈的“挥发释气”引发的分子级污染，二是润滑膜干涸与高磨损导致的粉尘微粒污染。
2、NSK的精密真空定位产品线包括哪些产品？
NSK的精密真空定位产品线包括真空级滚珠丝杠、直线导轨、XY定位工作台等。
3、Compact FA系列滚珠丝杠是如何通过端盖偏导器循环系统实现噪音降低的？
该系统的切线方向平滑地拾取滚动中的滚珠，最大程度地减小了滚珠进入回流路径时的撞击力，从而从源头抑制了机械碰撞产生的噪音。
4、NSK在抗冷焊材料工程方面有哪些主要应用？
NSK在高真空中大量采用了马氏体/奥氏体不锈钢（如高耐蚀的ES1）、钛合金以及高可靠性陶瓷（如氮化硅Si3N4）。使用硬度极高且化学惰性强的陶瓷球不仅减少了对润滑的依赖，还能从根本上防止金属间的冷焊效应。
5、标准氟基真空润滑脂的真空极限是多少？
标准氟基真空润滑脂的真空极限是10−5 Pa。
6、NSK推荐的YS系列高温轴承的润滑隔离块是由什么材料制成的？
YS系列轴承配备了由特殊烧结合金制成的润滑隔离块。
7、在真空环境中使用钛合金轴承时，有哪些方面需要注意？
在真空环境中使用钛合金轴承时，需要关注其彻底消除有害氧化副产物的能力，以及其抗腐蚀能力、抗腐蚀降解能力。
8、EDFO（低蒸汽压碳氢化合物）涂层在真空条件下能够提供多长的使用寿命？
在真空条件下，EDFO（低蒸汽压碳氢化合物）涂层的使用寿命最高可达标准真空氟基润滑脂的20倍。
9、ESZ系列和ESA系列的主要区别是什么？
ESZ系列和ESA系列的主要区别在于它们的表面硬度以及应用环境。ESZ系列的表面硬度比SUS630高出30%以上，适用于需要更高硬度的环境；而ESA系列经过特殊表面硬化处理，表面硬度可达800–1000HV，适用于需要更高硬度和特殊性能的环境。
10、真空系统在设计中必须采取哪些特殊的散热措施？
真空系统必须抛弃传统油脂在线精明配资炒股，转而采用特殊的低摩擦薄膜润滑涂层（如 EDFO 或 VDFO）以及低热膨胀的先进陶瓷材料，以应对严苛的物理和散热限制。
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